Theмногофункциональный предметный столикпредставляет собой высокоинтегрированное экспериментальное оборудование, которое в основном используется в областях материаловедения, производства полупроводников, анализа с помощью электронной микроскопии и т. д. Его основными особенностями являются модульная конструкция, многофункциональная интеграция и высокоточное управление.
один、 Основные функции и структурные характеристикимногофункциональный предметный столик
1. Модульная конструкциямногофункциональный предметный столик:
Множество функций достигается за счет различных комбинаций модулей, таких как модуль самовращающейся муфты (скорость 0–20 оборотов в минуту, с нулевым ограничением), подъемный модуль (стандартный ход 50 мм/100 мм, настраиваемый), модуль нагревателя (максимальная температура до 1100 ℃) и т. д.
Поддержка подключения источника питания постоянного тока/радиочастот для удовлетворения потребностей выращивания тонких пленок, очистки образцов или формирования вспомогательных пленок.
2. Высокоточное управление и датчики длямногофункциональный предметный столик:
Оснащен датчиками температуры, давления и другими датчиками, осуществляет мониторинг параметров окружающей среды образца в режиме реального времени, а также регулирует нагрев, охлаждение и другие операции с помощью системы управления.
Некоторые модели оснащены пневматическими модулями перегородок для удобства эксплуатации.
3. Совместимость и адаптивностьмногофункциональный предметный столик:
Подходит для испытания нестандартных образцов, таких как следы порошков, листовые материалы и образцы большого размера, что позволяет избежать повреждений, вызываемых традиционной резкой или шлифовкой.
Поддерживает образцы размером менее 6 дюймов и настраиваемые интерфейсы фланцев.
два、 Области применения многофункционального стенда для образцов
1. Тонкопленочная технология длямногофункциональный предметный столик: используется для передовых технологий выращивания тонких пленок, таких как МЛЭ (молекулярно-лучевая эпитаксия), ПЛД (импульсное лазерное осаждение), магнетронное распыление, а также отжиг подложки, высокотемпературная дегазация и другие процессы.
2. Электронно-микроскопический анализ многофункционального предметного столика:
Сканирующий электронный микроскоп с холодным полем: закрепите образец длинными винтами и отрегулируйте проводимость с помощью совместимых латунных шайб.
Система ТЭМ/ФИБ: объединяет расслоение в место, тестирование с помощью нанозондов и анализ ТЭМ для предотвращения загрязнения или повреждения, вызванного переносом образца.
3. Анализ отказов многофункционального образца: интеграция процессов атомной зачистки, электрических испытаний и анализа в системах ФИБ и ТЭМ для повышения успешности и эффективности.
три、 Технические преимуществамногофункциональный предметный столик
1. Интеграция и автоматизация многофункционального предметного столика: снижает сложность ручного управления за счет модульной конструкции, поддерживает общее перемещение и точное позиционирование в вакуумной среде.
2. Высокая надежность многофункционального предметного столика: использование стандартных фланцевых интерфейсов (например, CF50/CF40) для обеспечения герметичности и совместимости.
3. Настройка многофункционального стола для образцов: нагревательный материал, длина хода и тип держателя образца (например, 3-кулачковый байонетный тип, тип нижней вилки) могут быть выбраны в соответствии с потребностями.
В целом, многофункциональный предметный столик является ключевым оборудованием для исследования материалов и микроанализа, обычно используемым в рентгеновских дифракционных приборах. Его ценность заключается в функциональной интеграции, эксплуатационной гибкости и адаптивности к сложным экспериментальным требованиям. Конкретный выбор должен соответствовать соответствующим модулям и параметрам производительности в соответствии с фактическими сценариями применения (такими как технология тонких пленок, анализ электронной микроскопии или анализ отказов).
