Физическое явление когерентного рассеяния рентгеновских лучей на кристалле называется дифракцией, даже если оно происходит под малым углом. Например, если фаза имеет значение объявление 31,5 А и соответствующую дифракцию 2,80° (Cu-Kα), пик 31,5 А все еще остается очень острым, если фаза имеет высокую степень кристалличности. Тонкие пленки также могут производитьДифракция рентгеновского излучениясконцентрированы в небольшом диапазоне углов в зависимости от толщины и микроструктуры пленки. В этих случаях интенсивность малоуглового рассеяния рентгеновских лучей образцом возникает главным образом за счет дифракции образца, которую называют угловой дифракцией рентгеновских лучей.

Рентгеновское облучение ультрамелких частиц порошка также вызывает явление когерентного рассеяния, которое также происходит в области малых углов. Однако особенности картины когерентного рассеяния, создаваемой мелкими частицами, совершенно отличаются от особенностей малоуглового рассеяния.Рентгеновскийдифракционная картина, создаваемая большим расстоянием между гранями кристалла или тонкой пленкой сверху.

Малый уголдифракция обычно используется для определения расстояния между очень большими гранями кристалла или толщины тонких пленок, а также микропериодической структуры тонких пленок и распределения периодических отверстий.