Дифракция рентгеновского излучения Этот метод часто используется для определения кристаллического качества пластин и эпитаксиальных пластин. С помощью этого метода измерения можно получить такую ​​информацию, как фазовые константы и постоянные решетки, кристалличность, плотность дислокаций, остаточное напряжение, а также состав и толщина. На рис. 1 показана принципиальная схема обычных рентгеновских приборов.

В соответствии с различными методами сканирования на рисунке 2 показаны степени свободы вращения источника рентгеновского излучения, детектора и образца.рентгеноструктурный анализ Обнаружение имеет следующие методы измерения:

(1) 2-й/яскан, гдеяобычно составляет половину от 2я. Это также широко используемый метод сканирования для рентгеновских измерений образцов порошка, также известный как симметричное или связанное сканирование. Для очень тонких пленочных образцов рентгеновский луч можно фиксировать под небольшим углом сканирования, а детектор перемещается в направлении 2°.ясобирать сигналы. Такой метод обнаружения с малым углом также называется рентгеноструктурный анализ-обнаружением при скользящем падении. Фазовую структуру, напряжение и размер зерен образца можно получить с помощью рентгеновского анализа.дифракцияпики, сканированные по 2θ/ω.

(2) Измерение полярного графика. Полярная диаграмма имеет круговую форму и обычно составляется в полярных координатах с радиальными координатами. я и угловые координатыя. Он особенно подходит для образцов текстуры поверхности. В некоторых случаях полное или серия полярных изображений не требуется и может быть измерена с помощью азимутального сканирования.ясканирование. В это время информация об ориентации вне плоскости должна быть определена заранее с помощью 2я/ясканирование, а внутренняя информация о грани кристалла может быть получена путем измерения полюсного изображения илиясканирование, чтобы в дальнейшем судить о симметрии кристалла.