Заболеваемость выпасом означает, чтоРентгеновскийподвергается воздействию пленки под очень малым углом падения (&лт; 5°), что значительно уменьшает глубину проникновения в пленку. В то же время больший малый угол падения увеличивает площадь рентгеновского облучения на образце и увеличивает объем образца, участвующего в дифракции. В этой статье представлена роль ГИД в структурном анализе тонких пленок.
Пример: испытание ГИД однослойной пленки
В этом примере образец представляет собой поликристаллическую пленку РуО2 толщиной 14 нм, приготовленную на подложке из монокристаллического кремния (100). Таким образом, сигнал образца тонкой пленки в обычномрентгеноструктурный анализКартина маскируется сигналом монокристалла Си. Хотя на увеличенном изображении видны дифракционные пики тонкой пленки, сигнал очень слабый. Спектр ГИД образца при угле падения 0,3 градуса показан на рисунке 2. На рисунке нет сигнала монокристаллической подложки Си, а сигнал пленки очевиден.
Рисунок 1
Рис2