HRXRD — мощныйнеразрушающий контрольМетод, а объектами его исследования являются в основном монокристаллические материалы, монокристаллические эпитаксиальные тонкопленочные материалы и различные низкоразмерные полупроводниковые гетероструктуры. Он широко используется для измерения качества монокристаллов, толщины, параметров ячеек и других структурных параметров эпитаксиальных пленок.
2-тэта/омега-сканирование используется для обнаружения когерентного рассеяния атомных слоев, параллельных поверхности, и может использоваться для определения состава В, параметров внеплоскостных ячеек, толщины и других параметров.
диаграмма сканирования 2тета/омега ГаН (0002)кристалллицо
очевидные пики качания сверхрешетки и тонкие пленочные интерференционные полосы между пиками сверхрешетки.
РСМ — это интуитивный метод анализа несоответствий между тонкими пленками и подложками, а также дефектов тонких пленок. СовременныйHRрентгеноструктурный анализИспользование 1D-детекторов может значительно повысить скорость испытаний: быстрое получение РСМ занимает всего несколько десятков секунд.
Изображение является результатом аппроксимации полного спектра скана 2тета/омега. Видно, что карта аппроксимации хорошо согласуется с данными испытаний. Содержание В является важным параметром процесса роста. Таким образом, HRXRD является мощным инструментом для мониторинга процесса осаждения.
